氣流質(zhì)量傳感器工作原理

發(fā)布日期：2020-01-11 作者：點(diǎn)擊：

氣體質(zhì)量流量計(jì)采用氣流質(zhì)量傳感器和壓力傳感器。氣流質(zhì)量傳感器是基于流過傳感器氣流質(zhì)量帶走的熱量正比于其輸出電壓的熱傳輸原理，壓力傳感器是氣體的壓力正比于輸出電壓，即將氣體質(zhì)量流量和氣體壓力同時轉(zhuǎn)換成模擬信號輸出。

質(zhì)量流量計(jì)零點(diǎn)不穩(wěn)定形成零點(diǎn)漂移，影響其精確度的進(jìn)一步提高，使得許多型號儀表只得采用將總誤差分為基本誤差和零點(diǎn)不穩(wěn)定度量兩部分。科里奧利質(zhì)量流量計(jì)不能用于測量低密度介質(zhì)和低壓氣體；液體中含氣量超過。測量系統(tǒng)根據(jù)科氏力原理測量介質(zhì)的質(zhì)量流量。科氏力是物體在旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)中做直線運(yùn)動時所受的力。 ·Δω 科氏力 Δ ω 角速度旋轉(zhuǎn)或振動時的徑向速度科氏力大小與運(yùn)動物體的質(zhì)量Δ 、速度成正比，即與介質(zhì)的質(zhì)量流量成正比。質(zhì)量流量計(jì)用測量管的振。

該流量計(jì)同時實(shí)現(xiàn)熱源的產(chǎn)生與溫度的測量。當(dāng)芯片處于工作狀態(tài)時，在傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場分布。一旦一定質(zhì)量的氣體流過傳感器時，氣體的流動將破壞該溫度場的分布，形成特定的、取決于該氣體的質(zhì)量和速度的溫度場分布。微機(jī)電系統(tǒng)流量計(jì)芯片上的傳感器將測量這一變化并把這一變化轉(zhuǎn)換為電信號，由一個專門的電路變送器對此信號進(jìn)行放大、調(diào)理并作線性化處理。由于不同質(zhì)量的氣體對傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場分布所產(chǎn)生的擾動不同，因而能測量氣體的質(zhì)量流量或總流量。

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